無油真空泵出現(xiàn)故障時(shí)，可以按照以下步驟進(jìn)行排查：

檢查電源和電氣連接：

確保真空泵的電源連接正確并且供電正常。

檢查電氣連接是否良好，包括電纜、插頭和插座等部分，確保沒有松動(dòng)或損壞。

觀察真空泵工作狀態(tài)：

啟動(dòng)真空泵，觀察其工作狀態(tài)。如果真空泵沒有正常啟動(dòng)或者啟動(dòng)后沒有產(chǎn)生預(yù)期的真空度，則可能存在問題。

注意是否有異常噪音、振動(dòng)或異味等現(xiàn)象，這些都可能是故障的指示。

檢查過濾器和排氣管道：

檢查過濾器是否清潔，過濾器堵塞可能導(dǎo)致真空泵無法正常工作。

檢查排氣管道是否有堵塞或者異物，確保排氣順暢。

檢查真空泵本體：

檢查真空泵的外觀是否有異常，如有漏油、滲油、漏氣等現(xiàn)象。

檢查泵體和泵頭是否有損壞或者松動(dòng)，確保所有部件安裝正確并且密封良好。

檢查密封件：

檢查密封圈和密封墊是否完好，損壞的密封件可能導(dǎo)致氣體泄漏。

如果是旋轉(zhuǎn)式真空泵，檢查轉(zhuǎn)子和葉片是否磨損或者卡住。

檢查冷卻系統(tǒng)：

如果真空泵有冷卻系統(tǒng)，檢查冷卻水供應(yīng)是否正常，確保冷卻系統(tǒng)正常運(yùn)行。

使用測試儀器：

使用真空度計(jì)或者其他測試儀器檢測真空泵的真空度和工作性能，以確定是否達(dá)到預(yù)期要求。

如果有可能，可以進(jìn)行部件的分離測試，逐步確定具體出現(xiàn)問題的部位。

查閱使用手冊(cè)或者聯(lián)系廠家：

如果以上排查方法無法解決問題，可以查閱真空泵的使用手冊(cè)，尋找故障排除方法。

如仍無法解決，可以聯(lián)系真空泵廠家或者技術(shù)人員進(jìn)行進(jìn)一步咨詢和維修。

通過以上排查步驟，可以初步確定無油真空泵出現(xiàn)故障的原因，并采取相應(yīng)的維修或者更換措施。